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紫外光刻加工误差的实验研究
1986年德国教授W.Ehrfeld首先开发的LIGA技术(lithographic、 Galvanformug、Abformug)实现了深度X射线光刻、电铸成型和塑料铸模......
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紫外光刻
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马赫-曾德尔型光波导开关及其掩模设计
随着信息高科技时代的到来,全光网成为未来光通信网络发展的趋势,光开关作为实现全光网络的关键器件,在现代通讯系统中发挥着越来越重......
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