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掺Y非晶硅相关论文
掺钇非晶硅的电特性
由射频溅射技术将稀土元素钆掺入非晶硅,制备聘种新的N型半导体材料,掺Y低于9%时,在测量温度范围内logσ-T^-1呈线性关系;当掺Y高于13%时,l9logσ-T^-1关于系可拟合......
期刊
溅射
掺Y非晶硅
电特性
sputtering Y-doped amorphoussilicon eletronic properties
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