溅射相关论文
高电荷态离子（Highly Charged Ion HCI）是核电荷数较高同时外壳层电子被大量剥离的离子。高电荷态离子的研究对天体物理、量子色动力......
目前关于三元硫族化合物Ag Bi S2的研究报道仍然不多,但是在其基础理论计算研究、实验室合成制备以及各方面的应用上或多或少都能......
阐述物理气相淀积PVD是异质结HJT太阳能电池片生产工艺中的关键设备,它由6个模块组成,包括真空模块、溅射模块、加热模块、传动模......
本文包含两方面的研究内容:1.低能离子辐照植物的剂量-效应曲线拟合和马鞍型剂量-效应产生机制;2.低能离子在生物靶表面的溅射效应......
学位
Antistatic and antireflection (ASAR) coating using indium tin oxide (ITO) by magnetron reactive sputtering (MRS) techniq......
氧化亚铜(Cu2O)薄膜在太阳能电池及其它光电器件上有重要应用,它具有无毒、制备成本低、材料广泛易得等优点。制备Cu2O薄膜的方法......
20010401 使用液态原材料和直流等离子物理气相沉积法制备SiC涂层 ——Wilden J. Galvanotechnik, 2000.91(6):1 680(德文)示出了S......
<正> 石墨炉原子吸收光谱法,已广泛地用于海水中痕量元素的分析。这些元素的浓度很低而且还有着共存元素的干扰,所以在原子吸收分......
塑料的最大特点是轻和容易加工。由于这些特点,它已经广泛地用作日常生活中所需的各种工业材料。最近,附加导电性、生体(指活动物......
化石能源的枯竭及其对环境的污染促使人们开发新能源。聚变能渐渐地进入到人们的视野里,托卡马克装置也被认为是最有希望实现聚变......
钎焊是陶瓷与陶瓷和陶瓷与金属连接的最主要方式。由于大多数金属都不能直接润湿陶瓷,现有的钎焊技术都需要在陶瓷表面制备会降低......
金属玻璃因其无序结构有利于抵抗离子辐照诱发的损伤,表现出较好的耐辐照性能而成为近年来的研究热点。高电荷态离子具有的辐照速......
学位
采用多靶离子束溅射镀膜技术制备Fe(200℃退火)/Al2O3/Fe多层膜隧道结样品,研究了隧道结样品的巨磁电阻效应,在室温下获得了5.89%......
采用蒙特卡罗(Monte Carlo)方法,研究了脉冲激光烧蚀沉积纳米硅(Si)晶薄膜过程中,靶衬间距对传输中溅射粒子密度和速度分布的影响......
采用K575X高分辨率溅射仪在单晶硅衬底上制备镍纳米催化剂薄膜。研究了高温氨气刻蚀对镍催化剂由连续薄膜转变成纳米颗粒的影响。......
前言 近年来,随着科学技术的飞跃发展,真空镀膜技术不但广泛地应用于光学、电子、半导体以及原子能和空间技术等许多工业和科学领......
Aluminium nitride AlN(100) thin films have been successfully deposited on Si(111) substrates by reactive magnetron sputt......
采用放电等离子烧结方法烧制BaS:Eu片,将该片嵌入铝靶中,溅射制备BaAl_2S__4:Eu薄膜。在制备的所有薄膜中均有BaAl_2S__4:Eu存在,......
通过RF磁控溅射技术制备不同溅射气压下的ITO薄膜,对其电阻率、光学透过率、XRD图、AFM图和划擦行为进行了研究。薄膜和基板的附着......
本文研究了直流多靶溅射Pt_5Si_2—Ti—Pt—Au多层金属化系统的溅射条件并讨论了梁式引线和肖特基势垒二极管的生成机理。
In thi......
铁电溅射膜可能在集成光学领域内得到应用,尽管大多数波导作用元件以单品结构为基础。众所周知,多晶体或陶瓷材料有明显的电-光效......
本文扼要地评述了俄歇电子能谱定量分析的最新进展及其存在问题。首先评述了第一原理模型的俄歇电子能谱的物理基础,并分别对其中......
氩离子枪主要由离子源、加速电极、聚焦透镜和控制电源构成,可以产生并发射氩离子束,用于样品的表面清洁处理、表面刻蚀或深度分析......
本文以Mo，Mo-N，Mo/Mo-N，W/Mo-N以及Mo/Ta-N为研究对象，采用了磁控溅射、反应溅射等技术在Si衬底上生长了Mo，Mo-N，Mo/Mo-N，W/Mo-N以及Mo/......
本文采用基于空心阴极放电的离子注入与沉积方法对圆筒内表面改性技术进行实验研究。采用C2H2气体，利用直流空心阴极放电、射频......
本论文以纳米Cu-Zn合金薄膜的制备为研究内容，采用溅射法制备了纳米Cu-Zn合金薄膜，进行了溅射工艺的研究，并探讨了Cu-Zn合金薄膜的形......
为了实现流场壁面剪应力等动态定点分布测量,提出了一种新的柔性热膜传感器阵列结构,并介绍了其制作工艺。旋涂并升温固化制备聚酰......
用磁控溅射镀膜技术镀制太阳能集热管的涂层研究结果表明 ,用单一的铝靶极及氮气、乙炔气体等材料 ,经直流反应和非反应溅射 ,在玻......
设计并制造了新的潘宁型等离子体源实验装置,分析了等离子体的发射光谱和产生A lN的动力学机理。在室温条件下,纯氮气的工作环境中......
本论文采用双离子束溅射沉积技术制备了非晶的SiOx薄膜,XPS的测试表明Si是以单原子或低价氧化物的形态存在于薄膜内;在波长为240nm......
用交替溅射的方法制备铜铟镓硒薄膜太阳能电池预置层。通过可变占空比的电源控制器实现对Cu/Ga合金靶以及In靶溅射时间的控制,进而......
期刊
对7A52铝合金及45钢表面活性屏离子渗硫层的制备及形貌结构进行了研究。通过工装使7A52铝合金及45钢试样在高频脉冲等离子扩渗炉中......
常用半桥谐振式逆变电路工作可靠 ,对开关管耐压要求较低而被广泛采用 ,采用这种电路元件少、造价低 ,目前国内市场上见到的高频交......
在LCD生产中,从平板靶溅射ITO已是一项非常成熟的工艺,但如果转而采用旋转柱状靶,则可大大降低镀膜基板的成本。
In LCD producti......
采用双层辉光离子渗金属技术在２０ 钢上进行镍铬共渗处理，对合金元素的溅射和吸收这两个渗金属过程，从放电及溅射等理论角度并结合试验......
在粗加工中的优势rn1.比厚更厚——Hyperlox Plus (6～8μm)刀片专用加厚涂层rn有时候,更厚意味着更好.刀片集高效、经济于一身,它们......
采用磁控溅射和退火法在Si(111)衬底上制备Au/SiO2纳米复合薄膜,并在两种实验模式下进行退火处理。模式A:不同的退火温度,退火20mi......
采用直流对靶磁控溅射结合快速热处理工艺制备了具有金属-半导体相变特性的氧化钒(VOx)薄膜.利用XRD,XPS和SEM对薄膜结晶结构、薄......
