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用测试图形和正方阵列机械四探针研究硅单晶电阻率的均匀性
本文讨论了平面四探针测试结构的设计及在测量硅单晶电阻率时应注意之处。测量结果与自制的正方阵列机械四探针及其他单位所用的直......
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四探针
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测试结构
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硅单晶
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