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旋转式柱形弧源相关论文
应用于工具镀膜的磁场辅助离子镀弧源及其放电特性分析
针对几种应用于工具镀膜的磁场控制的电弧离子镀弧源,分析了其结构、工作原理以及弧斑运动、放电特性;比较了不同磁场辅助受控弧源......
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