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机械式旋转磁控弧源相关论文

应用于工具镀膜的磁场辅助离子镀弧源及其放电特性分析

针对几种应用于工具镀膜的磁场控制的电弧离子镀弧源,分析了其结构、工作原理以及弧斑运动、放电特性;比较了不同磁场辅助受控弧源......

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矩形平面大弧源旋转式柱形弧源机械式旋转磁控弧源电磁式旋转磁控弧源多模式动态磁控弧源

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