材料本质粗糙度相关硕士博士期刊学术论文

材料本质粗糙度相关论文

对目前线边缘粗糙度（Line edge roughness，LER）的研究进行了分类，区分线宽变化率、线的边缘粗糙度和侧墙（边缘）粗糙度的物理本质。重新给......

期刊