论文部分内容阅读
对目前线边缘粗糙度（Line edge roughness，LER）的研究进行了分类，区分线宽变化率、线的边缘粗糙度和侧墙（边缘）粗糙度的物理本质。重新给出一个LER定义，定义LER是由加工工艺和材料本身结构引起的刻线侧墙的表面形貌微观不规则程度，并分析给出定义的合理性。给出该定义和ITRS定义间的换算关系。结合刻线的加工过程主要发生在刻线的边缘表面，且该加工过程发生于深纳米尺度，给出一种基于原子尺度的LER计量模型，在该模型中分离了材料本质粗糙度。