极小漏率相关论文
极小漏率校准方法研究是真空计量学领域具有挑战性和重要性的一项前沿课题。这些年,随着各国航天技术发展和其他高新技术领域的应用......
提出了一种基于静态膨胀法的极小漏率校准方法。该方法通过测量被校漏率离子流上升率及四极质谱计校准系数实现校准。实验发现,10-......
采用静态膨胀法校准10^-10Pa·m^3/s量级的真空标准漏孔,通过对校准结果的不确定度评定,发现被校漏率产生的离子流上升率是不确定......