【摘 要】
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极小漏率校准方法研究是真空计量学领域具有挑战性和重要性的一项前沿课题。这些年，随着各国航天技术发展和其他高新技术领域的应用需求，需要精准测量10-12Pam3/s以下量级的极小漏率。本研究着重介绍了动态比较法和静态累积比较法对极小漏率真空漏孔的校准方法，并介绍采用基于静态膨胀法极小漏率真空漏孔的校准方法，比较分析了校准结果和不确定度的评定。为10-15Pam3/s 以下量级的极小漏率的产生奠定了基
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所国防科技工业真空一级计量站,兰州,730000
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极小漏率校准方法研究是真空计量学领域具有挑战性和重要性的一项前沿课题。这些年，随着各国航天技术发展和其他高新技术领域的应用需求，需要精准测量10-12Pam3/s以下量级的极小漏率。本研究着重介绍了动态比较法和静态累积比较法对极小漏率真空漏孔的校准方法，并介绍采用基于静态膨胀法极小漏率真空漏孔的校准方法，比较分析了校准结果和不确定度的评定。为10-15Pam3/s 以下量级的极小漏率的产生奠定了基础。
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