气体质量流量传感器相关论文
为了解决当气体质量流量控制器多次快速改变输出流量数值的设定值后,气体质量流量传感器无法迅速响应控制器设定点的快速变化,进而......
研制了一种热隔离式微机电系统(MEMS)气体质量流量传感器。加热电阻器和上下游测温电阻器采用热隔离悬梁式结构,间隔240μm。对恒......
研制了一种微量程段的热式气体质量流量传感器。传感器芯片通过微机电系统（MEMS）工艺制备，芯片包括上下游测温电阻器和环境电阻器，其中......
