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氮化铝硅相关论文
Si1-xAlxN/Ag/Ta低辐射薄膜制备及性能研究
环境污染和能源危机为二十一世纪制约社会经济可持续发展的难题之一。随着城镇化建设进程的加速,建筑能耗将持续增长,具有节能降耗作......
学位
氮化铝硅
磁控溅射
种子层
表面粗糙度
低辐射薄膜
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