氮掺杂TiO2薄膜相关硕士博士期刊学术论文

提出了一种利用离子注入和后续退火制备氮掺杂TiO2薄膜的方法。首先在室温下向石英玻璃中注入Ti离子，随后在氮气中退火到900℃，从而......