氯氢化相关论文
介绍了西门子法多晶硅的副产物四氯化硅的综合利用技术及其现状,从原理、工艺优缺点、存在问题、改进方向等方面介绍了四氯化硅制......
综述了四氯化硅热氢化法、氯氢化法和等离子体氢化法制备三氯氢硅的最新进展，并对这3种技术进行了对比。......
文章对生产多晶硅的改良西门子法,其副产物四氯化硅氯氢化制备三氯氢硅的工艺方法进行比较分析,对喷动流化床为核心设备的原理、结......
综述了硅氯氢化法制备三氯氢硅的研究进展,探讨了反应温度、无水氯化氢与氢气配比、水分等对硅氯氢化反应的影响,同时介绍了四氯化......
改良西门子法生产多晶硅的过程中,主要的物料包括:氢气、三氯氢硅、硅粉、四氯化硅、二氯二氢硅及氯化氢等。这些物料存在一定的平......
