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等离子体法氢化相关论文

四氯化硅氢化研究进展

综述了四氯化硅热氢化法、氯氢化法和等离子体氢化法制备三氯氢硅的最新进展，并对这3种技术进行了对比。......

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四氯化硅三氯氢硅多晶硅热氢化氯氢化等离子体法氢化 silicon tetrachloride trichlorosilane polysili

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