用沟道离子注入法生成的稀土硅化物产物经背散射沟道分析、电镜分析和Ｘ射线衍射测 试表明：它具有很好的结晶品质（ＥｒＳｉ１．７的Ｘｍｉｎ值可低到１．５％）和很高的......

用沟道离子注入法生成的稀土硅化物经背散射沟道分析，电镜分析和Ｘ射线衍射测试表明，它具有很好的结晶品质和很高的相稳定性。......