浓硼扩散相关论文
单晶硅高浓度硼掺杂会导致晶格失配,从而引起一定的残余应力.为了估算残余应力的大小,研究了浓硼掺杂悬臂梁的形变曲线;分析了形变......
微机电系统中的悬空薄膜的制备技术是微结构制备的关键技术之一．研究了周边固支方形薄膜的机械灵敏度及通过浓硼扩散自停止腐蚀法制......
