机械灵敏度相关论文
MEMS陀螺以其体积小、功耗低、成本低、可批量生产等优点在军事领域和民用领域均得到了广泛的应用。随着我国迅速发展的航空航天、......
提出了一种基于机械杠杆放大机构的微机械陀螺设计方案,用于提高微机械陀螺的灵敏度和精度。该杠杆放大机构使用在陀螺的驱动模态......
运用四周固支薄板小挠度理论，分析了存在较大残余应力的浓硼重掺杂硅悬空薄膜的力学特性．给出了小挠度下，在外界载荷作用下总应力表达......
提出了一种新的微型传声器电容结构,即侧孔式微传声器.侧面开孔一方面降低了振膜的初始应力,提高振膜的机械灵敏度.另一方面,侧面......
z轴硅微机械陀螺仪采用体硅薄片溶解法制作,在加工过程中引入了残余应力.从理论上分析了残余应力对z轴陀螺仪工作模态的影响,并采......
微机械陀螺敏感结构加工误差的存在使得微机械陀螺的弹性主轴和驱动/敏感轴不能完全重合,将导致信号出现误差。针对加工误差引起的......
微机电系统中的悬空薄膜的制备技术是微结构制备的关键技术之一．研究了周边固支方形薄膜的机械灵敏度及通过浓硼扩散自停止腐蚀法制......
基于法布里-帕罗腔的干涉原理,采用微机电系统技术加工制作了一种光纤微机电系统压力传感器,采用浓硼扩散自停止腐蚀和磁控溅射的......
针对盘形谐振陀螺的机械灵敏度这一关键性能,采用结构优化法对盘形谐振陀螺的谐振环壁厚分布进行了优化。首先基于COMSOL with MAT......
本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风，采用了硅微机械技术，且实现了麦克风电容两电极之间的自对准，大大提高了麦克风的生产效率，降低......
