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混合集成建模相关论文
基于混合集成建模的硅单晶直径自适应非线性预测控制
大尺寸、电子级直拉硅单晶生长过程中物理变化复杂、多场多相耦合、模型不确定且存在大滞后和非线性等特性,因此如何实现硅单晶直......
期刊
直拉硅单晶生长
直径控制
混合集成建模
模型辨识
自适应非线性预测控制
Czochralski silicon single crystal growthdia
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