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热稳定性薄膜结构相关论文
超薄类金刚石(DLC)膜的热稳定性研究
采用真空阴极磁过滤电弧法(FCVA)和电子回旋共振化学气相沉积法(ECR-CVD)沉积厚度为2 nm至50 nm的类金刚石薄膜。在高纯氩气环境中对DL......
学位
金刚石薄膜
金刚石薄膜热稳定性
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