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片上太赫兹天线集成相关论文
片上太赫兹天线集成器件LT-GaAs外延转移工艺
提供了一种实现片上太赫兹天线集成器件光电导开关材料低温GaAs(LT-GaAs)外延层的转移工艺,使用HNO3-NH4OH-H2O-C3H8O7·H2O溶液-H......
期刊
片上太赫兹天线集成
LT-GaAs
外延层转移
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