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多孔硅含能芯片的制备工艺和性能研究
采用电化学双槽腐蚀法在P型单晶硅片表面生长多孔硅膜。利用超声强化原位装药技术,在多孔硅膜中填充高氯酸铵或高氯酸钠制备多孔硅......
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应用化学
多孔硅
含能芯片
高氯酸铵
高氯酸钠
猛烈爆炸
applied chemistry porous silicon energetic chip a
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