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近年来低温容性耦合等离子体广泛地应用于工业,尤其是在微电子工业领域,相关技术日渐成熟。容性耦合等离子的放电特性是推动大规模......
容性耦合等离子体被广泛地应用于半导体工业中,如薄膜沉积、材料刻蚀以及表面处理等。众所周知,在容性耦合等离子体放电中,较高的......
本文提出了一种动态多次调制相位的方法，通过三维电磁场模拟仿真发现，这种方法可以有效的抑制驻波效、显著改善电磁场在反应腔内分布......
