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电磁场不均匀性相关论文
相位调制对大面积甚高频等离子体反应腔内电磁场的影响
本文提出了一种动态多次调制相位的方法,通过三维电磁场模拟仿真发现,这种方法可以有效的抑制驻波效、显著改善电磁场在反应腔内分布......
期刊
甚高频放电
相位调制
驻波效应
电磁场不均匀性
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