研究了用于负离子源的电子回旋共振（ECR）等离子体的产生和控制。为能够得到大直径高密度均匀微波等离子体，提出了一种利用永久磁铁 的......

利用电子回旋共振（ECR）氢等离子体处理n型4H—SiC（0．5～1．5×10^19cm-3）表面，采用溅射法制备碳化钛（TIC）电极，并在低温（~800。C）条件下退火。......