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直接解耦测量方法相关论文
基于平面电容传感器的大量程、高精度二维位移直接解耦测量方法和系统研究
随着科学技术的迅速发展,精密检测技术得到了越来越广泛的应用。特别是位移检测技术,随着现代工业的发展,逐渐朝着高精度、大量程......
学位
平面电容传感器
二维位移测量
大量程
直接解耦测量方法
超精密位移测量
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