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随着高端制造业的不断发展,纳米位移测量技术在保证高精度、高分辨力的同时,对大量程、多维度、多参数测量需求也日趋迫切。尤其是......
位移测量技术的精密程度决定了一个国家的工业发展上限,而除了传统的直线位移传感以及角位移传感,精密二维位移测量作为平面运动的......
当激光被外部目标反射或衍射并反馈回激光器时,会调制激光器的输出特性,这一现象被称为激光自混合干涉。随着激光自混合干涉技术的......
本论文以研究大行程、高精度定位平台为主要目的,结合浙江省科技计划(国际合作)项目“纳米级超精密定位平台的研制”(No.2004C2400......
激光漂移是影响二维位移测量精度的主要因素之一。为了消除激光光源漂移对二维位移测量结果的影响,提出了一种双光路激光漂移实时......
随着工业4.0战略和工业互联网概念的提出,全球掀起了工业制造业升级转型的巨大浪潮,二维位移直接测量需求随之攀升,如数控定位台、......
