直流等离子喷射相关论文
采用直流等离子喷射CVD法在硬质合金衬底上直接沉积了金刚石薄膜,经加工制作的金刚石薄膜刀具用于切割高硅铝活塞;初步的现场试验结果表......
采用高功率直流电弧等离子体CVD工艺制备了不同厚度的无裂纹自支撑金刚石厚膜.实验中观察到在金刚石厚膜生长过程中出现了形貌不稳......