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石英玻璃材料相关论文

半导体刻蚀用耐久性石英玻璃制备及发展现状

高性能石英玻璃材料及制品是半导体集成电路制造过程不可或缺的关键配套辅材．本文介绍了半导体刻蚀工艺原理、刻蚀过程用石英玻璃材......

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半导体集成电路石英玻璃材料刻蚀速率耐久性玻璃制备工艺原理制造过程元素种类

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