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基于硅MEMS腔体技术的微波带通滤波器

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硅MEMS腔体硅体微加工带通滤波器梳状结构谐振器

基于MEMS技术的微波滤波器研究进展

基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS......

期刊

MEMS技术硅体微加工 LIGA技术微波滤波器可调滤波器

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