MEMS技术相关论文
针对环境污染、无创医疗、生化武器、爆炸物等方面对气体的便携式、现场快速检测的需求,高场非对称波形离子迁移谱（FAIMS技术）的原理......
针对电子血压计和制氧机的动态压力测量（0～100 kPa）,结合ZnO:Li薄膜d31和d33两种压电工作模式,本文基于MEMS技术给出两种压电式压力传......
利用基于MEMS技术的SIMC-3120便携式近红外光谱仪,采集632个白酒酒醅样品的漫反射光谱,将所得的950～1650 nm波段范围内的光谱数据进......
生物分子结合反应,DNA杂交,蛋白质展开,酶促反应和微生物代谢等生化反应过程中总是会伴随着热量的变化,了解生化反应过程中热量的......
随着微机电系统(MEMS)技术的不断发展，推动了与之相关领域的发展速度。为了在调节空调制冷的同时，尽量降低散热器冷凝水使室内湿度降......
本文研究了一种基于Si基MEMS工艺的，工作于0.5THz的单脉冲天线馈源。该单脉冲天线馈源由两个H 面喇叭天线和一个波导型平面和差网络......
基于MEMS技术设计和制作了一种微型的、集成的生物化学反应器.文中阐述了微反应器的结构、工艺及工作特性.该反应器的反应池体积的......
@@滤波器在微波通信、微波导航、遥测遥控、卫星通信以及军事电子对抗领域的需求量不断增大。对于通信系统而言，滤波器更是一种至关......
本文将MEMS技术用于矢量水听器的设计与研制中，介绍了以微机械加工技术为基础的矢量水听器的工作原理与设计方法，具体分析了检测单元......
本文采用MEMS技术研制了一种以硅材料为基底,具有MEMS结构的NO2传感器,敏感材料选用金属酞菁化合物-酞菁锌.阐述了该传感器的工作......
射频微机电系统(RF MEMS)开关是基于MEMS技术的微波信号变换的关键元件，开关的可靠性及失效问题是决定其能否最终成功应用的关键，也......
"自呼吸式"μPEMFC即不用传统的压缩空气或纯氧,而是利用扩散作用直接从周围的空气中获得氧气作阴极氧化剂的微型质子交换膜燃料......
作为一种新型化学电源,微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC)系统有很多潜在的优势和应用需求.众所周知,流场板是燃料电池中起集流导电......
通过对柔性温度传感器常用的热敏材料、基底材料以及加工方法等进行分析总结,指出柔性温度传感器使用的热敏材料主要包括金属材料......
高幅值、高频率和宽带宽超声信号可以显著提高超声的作用效果和分辨能力，在现代超声应用，如医学成像与治疗、无损检测中具有广阔的需......
摘 要：传统陀螺仪的测控电路是由分立的模拟电路组成，陀螺仪输出信号的性能易受温度等环境因素影响。针对以上问题，文章基于Altera公......
本文对基于MEMS技术的微惯性传感器进行了研究讨论,介绍了微惯性传感器当前的应用情况及其发展趋势,重点介绍了微惯性传感器与惯性......
硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.自2002年起,中国科学院声学研究所在中国科学院知识创新工......
本文简要介绍了一种基于MEMS技术设计制作的,具有零频、高分辨率和自检功能的高精度电容式加速度传感器.该传感器采用差动电容作为......
分析了基于MEMS技术的三轴加速度芯片ADXL330的工作原理和结构，设计了基于ADXL330的三轴振动加速度传感器的电路原理、PCB板和外壳......
温度、湿度传感器是两个常用的器件,在工农业自动化、环境检测等方面有着广泛的应用.本文回顾了几种微型湿度传感器的研究,应用MEM......
食品业与农业对国家经济的贡献巨大，但却经常被忽视，特别是在先进技术的发展方面。国家一直在加强质量、安全与可靠性管理，但消费者却......
有一家传感器制造商,已经开始应用MEMS技术,在芯片上制造气体探测器样品了。这家公司的专有技术,有可能将体积庞大,价格昂贵的气......
为了解决微流控电泳芯片集成化问题,设计并制作出一种具有管道两侧微阵列电极结构的硅-PDMS复合低电压电泳芯片.通过电路控制程序......
本文提出了一种基于双层弯曲热微执行器的新颖的调谐方式,太赫兹带阻滤波器采用波导加载金属块的形式。双层弯曲热微执行器驱动金......
介绍了以MEMS技术为的半导体类空气质量传感器,常见的有膜式结构和悬臂梁式结构.分别阐述了不同结构传感器的特点,并介绍了MEMS半......
基于MEMS技术加工的微机械陀螺具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高等优点,当前在许多领域具有非常广阔的应用前景。然而,在国内......
针对提升ZnO材料在加速度传感器中的应用,本文基于MEMS技术设计了一种ZnO纳米结构加速度传感器,其结构由硅基悬臂梁、Ti/Pt底电极......
为解决角度传感器在汽车转向助力应用相关领域存在的接触磨损、量程小、结构复杂和对环境要求高等问题,本文基于MEMS技术设计制作......
热流密度是影响热端部件性能和寿命的关键因素之一,及时检查和获取部件表面热流分布和变化对安全监控和性能验证都具有重大意义。......
随着科技的发展,微机电系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术不断进步,MEMS惯性器件的精度和稳定性得到了很大的提高,基......
随着微机电系统（MEMS）技术与物联网的迅猛发展,微加工超声换能器在各类超声器件中脱颖而出,在国民经济、社会发展与国防安全领域发挥......
1987年,随着人类对微观世界的操控能力越发深入,肉眼无法分辨的微电机出现了。美国加州大学伯克利分校做出了世界上第一个静电驱动......
近20年来,由于电信业滤波器应用的驱动,基于压电薄膜的薄膜体声波(FBAR)技术取得了显著的进展.本文综述了FBAR传感器的进展,重点是......
准确、连续监测眼压对青光眼的诊断和治疗具有非常重要意义,MEMS技术的发展使眼压连续监测成为可能,MEMS眼压传感器成为此领域的研......
本文研制了一种基于MEMS技术的地面大气电场传感器系统.MEMS地面大气电场传感器基于电荷感应原理,以先进的MEMS技术加工的敏感结构......
基于MEMS的微型姿态系统是在先进的MEMS技术上开发的一种自主式的微惯性姿态测量系统,可实时输出飞行器三维姿态信息,为导航和姿态......
互联网的飞速发展对宽带通信提出的需求只能由光网络满足,这转而导致了前所未有的对光微机械系统(MEMS)的兴趣。从光纤光学的早期......
面向投影成像应用的光栅机电系统(GratingElectro-MechanicalSystem,GEMS)激光投影技术可制作出具有宽色域、高彩色位深度和高分辨......
光谱仪是分析物质成份、结构和含量的主要工具。现有各种桌上型光谱仪利用分立元件对空间自由光束进行操控，体积较大、抗震性较......
介绍了一种均齿结构电容式硅微机械加速度传感器，对结构进行了设计、分析和有限元模拟。并采用体硅MEMS(Micro-electromechanic......
本文基于MEMS技术的无人机导航系统利用卡尔曼滤波最优算法，把来自捷联惯性测量单元、三维捷联磁传感器、GPS和气压高度速度传......
本文论述了MEMS技术的概念研究内容、发展趋势及应用领域,并从五个方面提出了发展我国MEMS技术的建议:一、结合我国国情.二、以市......
