硬脆材料去除机理相关硕士博士期刊学术论文

单晶碳化硅(Sic)是一种硬度仅次丁于金刚石的典型硬脆材料,由于良好的物理和机械性能,在大功率器件以及Ic行业应用广泛,但高的硬度......