磁控溅射系统相关论文
本文运用金属氧化物沉积（磁控溅射）系统制备MgAl2O4（MA12）薄膜及掺F后的MA12（F-MA12）薄膜,分别验证了富氧条件下MA12薄膜呈绝缘特性、F-M......
本文对单圆柱靶磁控溅射系统的控制进行了研究,并在选择性吸收涂层大规模的生产中,采用现场总线技术,实现太阳选择性吸收涂层的生......
MS-T3000摩擦磨损试验仪运用球-盘摩擦原理,得到材料或薄膜的摩擦性能和耐磨强度.尤其在硬质涂层领域中应用MS-T3000可以精确的测......
随着微机电系统(MEMS)对柔韧性和弹性日益增加的需求,提出了一种新型的基于ZnO和聚酰亚胺(PI)结构的声表面波器件(SAW).本文中采用......
利用自主搭建的磁控溅射系统在氧化镁，蓝宝石和石英衬底上外延生长了Mg0.50Zn0.50O 薄膜.薄膜中Mg 组份与衬底关系不大，都是50％.X......
采用柱状靶多弧磁控溅射系统制备了氮化铜薄膜,利用XRD和SEM分析了薄膜的相结构和表面形貌,并采用真空热处理研究了氮化铜的热稳定......
本文研究了Co/ZnO/FeNi磁性多层膜的垂直磁电阻特性.利用多靶磁控溅射系统和光刻技术在Si(100)衬底上制备出微米尺寸的(Co/ZnO/FeN......
该工作采用封闭型非平衡磁场ｄｃ磁控溅射系统制备Ｃ〈，３〉Ｎ〈，４〉／ＴｉＮ复合交替膜，获得（１１１）晶面择优生长的ＴｉＮ，对Ｃ〈，３〉Ｎ〈，４〉强迫晶化，生成（２２１）晶面的β－Ｃ〈，３〉Ｎ〈，４〉。薄......
通过磁控溅射系统,在单晶硅片上制备了六角氮化铝薄膜;改变溅射气压,也得到了垂直基底与平行基底的两种取向;取向生长的原因在于溅......
纳米线、纳米带和纳米棒作为新型的一维材料越来越多引起了人们的研究兴趣。2001年《科学》杂志宣布基于半导体纳米线的纳米电路将......
