在蓝宝石基的氮化镓衬底上采用射频磁控溅射结合剥离的方法制作了NiFe-SiOx磁性金属颗粒膜,利用PECVD淀积绝缘层,制备出＂SiN绝缘层/......

采用磁控溅射生长磁膜工艺，结合BCB（苯并环丁烯）平坦化技术，首次制作了“金属线圈／磁膜／金属线圈（M／F／M）”和“磁膜／金属线圈／磁膜／金属线圈（F／M／F／M......