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磷杂质污染相关论文
BF_2~+离子注入时磷杂质离子污染控制的研究
同一台离子注入机B,P离子交叉注入,残留的磷和BF3分解产生的F生成50PF+,成为难控隐患。研究指出,实际注入晶圆的平均质量数,呈以目......
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离子注入
磷杂质污染
有效控制
ion implants
phosphorus contamination
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