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稳态加热法相关论文
采用全对称测试结构的超薄单晶硅薄膜热导率测亮
改进了传统稳态加热法的测试结构,设计了带隔离槽的全对称悬空薄膜测试结构,并使用有限元工具对测试结构进行了优化.测量了室温下5......
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超薄单晶硅薄膜
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稳态加热法
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