2. 您的位置
3. 首页
4. 期刊论文
5. 采用全对称测试结构的超薄单晶硅薄膜热导率测亮

采用全对称测试结构的超薄单晶硅薄膜热导率测亮

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gratify

【摘 要】

：

改进了传统稳态加热法的测试结构,设计了带隔离槽的全对称悬空薄膜测试结构,并使用有限元工具对测试结构进行了优化.测量了室温下50和80nm厚度的单晶硅薄膜的横向热导率,分别

【作 者】

：

张皓 吕志超 田立林 谭志敏 刘理天 

【机 构】

：

清华大学微电子研究所

【出 处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

超薄单晶硅薄膜 热导率 稳态加热法 

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

改进了传统稳态加热法的测试结构,设计了带隔离槽的全对称悬空薄膜测试结构,并使用有限元工具对测试结构进行了优化.测量了室温下50和80nm厚度的单晶硅薄膜的横向热导率,分别为32和38W/(m·K),其相对体硅热导率(148W/(m·K))有明显下降,实验结果与BTE(Boltzmann transport equation)的理论预测曲线吻合得很好.

其他文献

小麦转化饲料使用量上升

2011年国内小麦转化饲料使用量上升幅度最大。据相关饲料企业介绍，目前饲料小麦替代技术已经有较大突破，整体替代水平在60％左右，鸭料和部分肥猪料甚至达到100％替代。据报道，以全产

期刊

饲料生产小麦转化使用量上升企业介绍养殖企业产业链条肥猪

四川：开启肉牛代养模式

据介绍，每头肉牛“代养”时间不得超过10个月，收购价也不会低于保底价。农户代养期间，公司定期对他们统一进行技术培训，统一进行防疫，统一采购精饲料，统一回购育肥销售，对资金有困难

期刊

代养肉牛四川技术培训收购价精饲料农户圈舍

氧气驱动雾化吸人在治疗老年慢性喘息性支气管炎中的应用

目的:探讨氧气驱动雾化吸入治疗老年慢性喘息性支气管炎的护理效果.方法:选择2010年7月～2012年5月我院收治的42例老年喘息性支气管炎患者作为研究对象,患者在常规治疗的基础上

期刊

氧气驱动雾化吸入老年人慢性喘息性支气管炎效果Oxygen drive aerosol inhalationElderlyChronic asthma

H∞鲁棒控制在精密直线电机位移装置中的应用

为解决精密直线电机位移装置中负载扰动、切削力波动以及参数的变化对系统性能影响较大的问题,利用在频率域选择加权函数,并将其转化到状态空间进行优化的方法,将H∞鲁棒控制

期刊

精密直线位移直线伺服电动机鲁棒H∞控制

氮化硅介质中双层纳米硅薄膜的两级电荷存储

研究镶嵌在超薄非晶氮化硅(a-SiNx)层之间的双层纳米硅(nc-Si)的电荷存储现象.利用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)技术在硅衬底上制备a-SiNx/a-Si/a-SiNx/a-Si/a-SiNx多层

期刊

纳米硅氮化硅电容电压法电流电压法

SiO2-羟基表面上金属原子的第一性原理研究

采用第一性原理方法研究了SiO2-羟基表面上几种金属原子的吸附性质,发现In和Ga在SiO2-羟基表面上的结合很弱,而Fe,Co,Ni在该表面上与Si,O形成强的化学键.等势能面和扩散势垒

期刊

第一性原理表面扩散结合能金属原子

一次典型的定子接地故障分析与优化保护原理

通过对一次典型的定子接地故障情况和保护录波数据分析,证明了保护动作行为的正确性.在分析过程中发现定子接地故障点离机端近,接地电阻在燃弧过程中很快减小,故障零序电压很

期刊

定子接地保护故障分析优化测量式定子接地保护

一种新型有效的侧面抽运耦合技术

抽运耦合技术是获得高功率激光器的关键技术之一.针对国外最新提出的一种利用二元金属衍射光栅进行侧面抽运耦合双包层光纤(DCF)激光器的方法,利用严格的矢量衍射理论,证明了

期刊

光纤激光器双包层光纤衍射光栅耦合效率

纳秒脉冲下高能量快电子逃逸过程的计算

基于快电子的逃逸击穿机理将是一种能解释纳秒脉冲高过电压倍数下气体放电现象的理论,对高能量快电子的逃逸运动、碰撞电离引导电子崩的发展等进行了分析,并根据电子能量与阻

期刊

气体放电快电子逃逸击穿纳秒脉冲

基于VB的点焊质量超声检测软件设计

为了利用超声回波信号对点焊连接质量进行准确评价,应用VB 6．0作为平台开发了点焊连接质量超声检测与评价软件系统．该软件系统通过VB 6．0调用Tektronix公司提供的TekVISA ActiveX控件,实现了数字示波器中超声信号数据的传输和存储；基于点焊连接质量超声检测的基本原理,通过提取和计算信号的特征参量,对点焊的连接质量作出评价．通过实验验证了评价规则的正确性．

期刊

点焊强度测量超声波Visual Basic