紫外光刻技术相关论文
由于在微电子行业、生物芯片、微机电系统等领域的重要应用，表面图案化技术得到迅猛发展。TiO2薄膜在光催化、光电转换等方面的优异......
针对固态金属天线在受力弯曲后易产生裂纹导致功能失效的问题,本文提出一种频率可重构的柔性液态金属共面波导馈电天线.该天线由四......
结合紫外光刻技术与湿化学刻蚀法,将掩模板上的条纹结构转移到锌基体上;然后利用月桂酸修饰降低表面能,制备出具有不同间距条纹结......
介绍了半导体制造业专用设备,紫外光刻设备所使用的光学材料.介绍了该材料的选择,研究现状,该材料制造工艺技术的创新,以及与材料......
从直接关系到大型计算机的运作等高科技领域,到表面装饰的艺术化的细分领域,光刻技术已经与我们的生活息息相关。比如手机、电脑等......
探讨了紫外光刻技术制备图案化聚合物纳米管/线阵列的方法,研究制备过程中的各种影响因素,并找到了最佳的实验条件。采用溶液浸润......
随着光纤通信技术和光传感技术的快速发展,集成光子器件特别是集成光滤波器由于其低成本、高集成度等特点引起了广泛的关注。在LiN......
对能满足21世纪要求且具有分子级性能材料的探索,引导了一维纳米结构的发展。几乎每种传统材料都有一种一维纳米材料的匹配物。一......
