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硅是地壳中含量最丰富的元素之一,具有许多优异的特点:首先,圆晶硅加工方便,机械性能良好,相较其他的半导体材料成本更低;其次,硅......
采用离子束溅射法通过在CH4和Ar的混合气体中溅射Ge靶材制备碳化锗（Ge_（1-x）C_x）薄膜.分别通过原子力显微镜、拉曼光谱和X射线光电子能......
采用ICP等离子体化学气相沉积技术,用硅烷和氮气为反应气体合成氮化硅纳米粉体.利用朗缪尔探针诊断了反应室内等离子体参数,得到不......
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类金刚石(diamond-like carbon, DLC)薄膜是一种亚稳态的非晶碳膜,它具有诸多类似于金刚石薄膜的优异性能。在光学方面,由于DLC薄......
