纳米线围栅MOS器件相关硕士博士期刊学术论文

随着大规模集成电路的发展，场效应晶体管的特征尺寸不断按比例缩小，当器件尺寸进入纳米尺寸时，会面临着严重的短沟道效应。围栅Si纳米......