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纳米行Si锥相关论文
电感耦合等离子体CVD室温制备的纳米Si薄膜场电子发射研究
利用电感耦合等离子体化学气相沉积在室温下制备了Si薄膜,用拉曼谱对样品的结构进行了表征,502cm?1附近散射峰的出现说明在样品中......
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