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涡轮分子泵组合叶列几何参数优化设计方法的研究
本文在分析了组合叶列内在抽气机理的基础上,以涡轮叶片的基本几何参数:叶片倾角、节弦比为设计变量,以气体连续性方程和最大抽速为约......
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