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综合电学特性相关论文
磁控溅射制备SiC薄膜及其电阻温度特性研究
SiC作为如今越来越热门的第三代宽禁带半导体材料,拥有热导率高、饱和电子漂移速度高、禁带宽度大、击穿电场高、热稳定性高等一系......
学位
SiC薄膜
磁控溅射技术
蓝宝石衬底
电阻温度特性
热敏电阻
综合电学特性
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