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离子束混合沉积C—SiC涂层的阻氢特性研究
对离子束混合技术制备的C-SiC阻氢涂层进行了SEM形貌观察,比较了在相同组分的C-SiC靶材下采用不同的Ar+离子轰击剂量,在相同的Ar+......
期刊
C-SiC
离子束混合技术
表面形貌
阻氢性能
碳-碳化硅涂层
聂击剂量
金属表达保护
CSiC coating
ion beam mixing
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