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脉冲溅射功率相关论文
脉冲溅射功率对含硅量子点SiC_x薄膜的结构和光学特性的影响
采用射频和脉冲磁控共溅射法并结合快速光热退火法制备了含硅量子点的SiCx薄膜.采用掠入射X射线衍射、喇曼光谱、紫外-可见-近红外......
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脉冲溅射功率
硅量子点
SiCx薄膜
磁控溅射
快速光热退火
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