脉冲负偏压相关论文
在不同的基台脉冲负偏压下，利用微波-ECR等离子体化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜，利用傅立叶变换红外吸收光谱和原......
采用脉冲偏压电弧离子镀技术在玻璃基片上室温制备了均匀透明的非晶TiO2薄膜,在0- -900 V范围内改变脉冲偏压幅值,考察其对薄膜沉......
等离子体源低能离子注入的等离子体特性诊断吴桂林雷明凯刘延伟马腾才（大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室１１６０２４）张仲麟（大连理工......
脉冲负偏压形核可增加衬底形核密度 ,最高可达 10 8/cm2 ,且晶核分布均匀。在此种晶核基础上生长的金刚石膜的微观形貌中 ,取向为 ......
利用直流非平衡磁控溅射技术，在100℃条件下，在单晶硅上制备了具有红外增透效果的类金刚石薄膜，研究了偏压对薄膜结构、机械性能和红......
在磁控溅射和多弧离子镀膜中,加于工件上的单极性脉冲负偏压电源很容易出现拉弧打火现象,这将严重影响镀膜质量,甚至损坏镀膜工件......
错牙合畸形是世界各国均呈较高发病率的口腔疾病,表现为牙列、颌骨和颅面的畸形,口腔正畸是目前最有效的治疗方法。正畸牙弓丝是正......
本文采用自制的等离子体化学气相沉积多功能系统,分别使用电感耦合等离子体源和脉冲辉光等离子体源制备出了质量较好的氢化非晶硅......
通过直流磁控溅射技术在基体(硅片、高速钢、钢片)上沉积碳膜。保持其它工艺参数基本恒定,探究薄膜在100V-400V脉冲负偏压下,结构......
