采用脉冲法生长了200nm厚的AlN薄膜,其XRD摇摆曲线的半高宽为130arcsec,表面粗糙度为2.021nm。以此AlN层为基板生长了不同Al组分的......

采用脉冲法生长了200nm厚的AlN薄膜，其XRD摇摆曲线的半高宽为130arcsec，表面粗糙度为2．021nm。以此AlN层为基板生长了不同Al组分的AlG......