薄膜应力相关论文
采用离子辅助电子束蒸发方法,通过改变制备Al2O3增透膜时基底的温度,在边发射半导体激光器前腔面上分别制备了张应力和压应力增透......
随着科学的进步和技术的革新,薄膜基底结构被广泛地应用到高新技术产业的各个领域。基底上的薄膜结构在制造和加工过程中会不可避......
采用哈特曼夏克传感器的薄膜应力在线测量仪测量了利用离子辅助电子束蒸发的SiO2,TiO2,Ta2O5,Al2O3与ITO薄膜在不同厚度时的应力值......
在半导体薄膜生长过程中,需要对半导体薄膜的特性(如薄膜应力、生长率、厚度、折射率等)进行实时检测,以实现对其生长过程进行精密......
本文论述了Ω形膨胀节的制造、设计和性能的试验研究；论证了Ω形膨胀节比之Ｕ形膨胀节内压产生的应力较小、疲劳寿命较长、抗内压先稳......
相对于传统形式的圆柱形消化池,卵形消化池受力性能好,其形状特征更符合环境工程技术流程的需求,因而日益在城市污水处理项目中受......
增透膜在透射光学元件上的运用,提升了光学系统的光学性能,拓展了光学系统的应用领域。目前,在640nm-660nm的窄波段内单层增透膜的......
一、概述波形膨胀节有许多形式,其中以U形膨胀节应用最广泛。膨胀节良好的补偿变形能力已被工程界所公认。从五十年代至今,各国对......
采用直流磁控溅射在316L不锈钢上制备了高质量的Al膜,并利用扫描电镜、X射线衍射仪分别对镀层的形貌和结构及应力进行了分析。结果......
本文以输水管道中使用的复式波纹管为例，阐述了如何采用有限元分析对承受内压和水重的加强U形波纹管进行强度校核，并与用公式计算出......
该文报道了低压化学气相淀积(LPCVD)制备的多晶硅薄膜内应力和应力梯度与退火温度和时间及掺杂浓度关系的实验结果。研究了不同结......
MEMS是科学技术不断进步和人们不断追求机械装置的小型化、微型化的产物。MEMS产品有着广阔的发展前景和潜在的巨大商业价值,在现......
该文使用射频磁控溅射的方法制备了Ag/Fe、Ag/Co、Ag/Cu、Cu/Fe、Al/TiAl等几组多层薄膜材料,依据基片曲率法的原理研制了一套薄膜......
GaN基LED在照明领域获得了广泛应用,已经与人们的生活息息相关,但现有生产工艺的改进、新技术的开发、相关物理机理的研究仍然是整......
在当代高科技领域,薄膜科学有着极其重要的应用,许多新材料和新器件的开发都是从制备薄膜开始的.薄膜应力是薄膜生产、制备中的一......
氟化镁(MgF2)作为一种传统的镀膜材料,在薄膜光学领域有着十分重要的地位与作用。氟化镁薄膜是所有低折射率的材料中最为牢固的薄......
薄膜应力对薄膜的光学性能、机械性能以及抗激光损伤等特性都有重要影响。为了减小和改变红外薄膜的应力，本论文开展了ZnS、YbF3制......
采用脉冲法生长了200nm厚的AlN薄膜,其XRD摇摆曲线的半高宽为130arcsec,表面粗糙度为2.021nm。以此AlN层为基板生长了不同Al组分的......
本文以静水压力作用下卵形消化池壳体的薄膜内力为基础,建立以体表面积为目标函数,以容积、高度,应力等为约束条件的优化模型.使用......
采用常温下靶面进气的直流反应磁控溅射方法在柔性聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上制备氧化钛薄膜，通过正交试验设计沉积工艺条件......
介绍了一种基于哈特曼传感器的薄膜应力在线检测系统.哈特曼透镜阵列将待测量表面划分成若干小区域,通过测量每个小区域成像光斑的......
用Monte Carlo法以Cu为例对薄膜生长过程中薄膜应力进行计算机模拟。将分子动力学法引入到连续体薄膜的生长过程中，通过面上的假想......
通过薄膜应力理论及简单边界效应理论，分析并求出了轴对称旋转薄壳几何不连续处的应力计算公式及所需满足的条件。在此基础上，对不等......
采用微加工技术制作测辐射热计阵列时，部分微桥可能发生结构变形，使阵列的性能下降甚至无法正常工作。采用有限元分析方法，对在热膨胀......
介绍压力容器开孔后的应力状态与补强的两种设计方法，等面积补强法和压力面积法，说明不同应力造成的破坏形式和相应的设计要求。......
对水下用FHZ48-70型环形防啧器承压件——壳体和顶盖进行了有限元分析.壳体和顶盖采用爪块式连接,该处结构对总体安全性和结构合理......
应用ANSYS有限元分析软件对V型闭口纵肋的正交异性钢桥面板进行了强度分析,得出了在最大载荷作用情况下的钢桥面板的应力云图,同时......
在分析国内外钢筒仓强度设计公式的基础上,通过求解圆柱壳在均匀轴压和内压作用下的微分方程,分析局部弯曲效应对钢筒仓变形和应力......
针对压印光刻工艺实现图章保真复型对阻蚀胶薄膜的均匀度和应力分布的要求，对匀胶过程中的时间、转速和加速度等参数进行了分析，并采......
随着科学技术不断研发,我国的各个领域都进行了很大的改革与创新。国内的相关学者加大了对薄膜应力的研究,使用溅镀或蒸镀的方法将......
应用统一屈服准则对金属塑性加工中的板料成型问题进行了塑性分析,得到了不同材料的薄膜应力的统一解,为工程实际问题提供了理论依......
利用光学和电子学结合的方法,建立了基于多光束光学传感器和光电检测电路的检测薄膜特性装置.通过对反射光光点间距变化和光强振荡......
根据管廊用高防护等级隔爆型外壳的特殊要求，提出了在设计中Exde Ⅱ CT型电器设备外壳的结构特点，外壳的容积计算，外壳壁厚的计算公式......
从三维弹性理论和压电学理论出发,通过假设边界函数,导出压电层合闭口柱壳的状态方程,并运用状态转移矩阵方法给出满足两端和内、......
应用ABAQUS软件对核磁共振成像仪超导磁体液氦罐的外壳进行分析，解决了常规压力容器设计中非标产品无法分析的问题，为该产品的制造提......
本文结合某工程实例,介绍了卵形消化池的结构设计及无粘结预应力技术的应用情况,提出了此类结构在设计中应注意解决的一些问题。......
本文介绍的半人球形封头与圆筒容器非等厚连接并通过对削薄圆筒部份的强度计算,提出了改进的结构形式.......
介绍了一种通过分析二元光束阵列的反射光图像，利用Stoney方程解算出薄膜应力的在线测量传感器．传感器是以二维Dammann光栅和Fresnel......
针对板单元模拟Y接头存在的网格尺寸效应导致模型仿真失真问题,设计一系列双耳罐球形封头模型,以3层实体单元模型结果为基准,讨论......
以拱坝和周围的岩体为研究对象,采用线弹性本构模型和不同的破坏追踪方式,对破坏过程中的不同的应力状态应用不同的强度准则和功能......
在显示面板工艺中,高质量的氮化硅薄膜扮演重要角色,本文研究了利用等离子增强型化学气相沉积制备的氮化硅薄膜应力情况。通过改变......
在<化工机械>教学中发现,对钢制内压容器在压力试验时,当压力满足一定条件时,无须校核应力.......
矩形截面容器广泛应用于石油化工等领域，具有单拉撑加强的带圆角矩形截面容器属于非标容器。为了解决其应力计算问题，针对其特殊结构......
采用磁控溅射离子镀技术制备了类石墨镀层（GLC），利用扫描电子显微镜（SEM）测量了镀层的厚度、X射线衍射仪（XRD）研究了材料的物相和应力，并结......
