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非接触式机械密封是核电站的关键设备,也是流体机械中应用最广泛的设备之一。非接触式机械密封的性能好坏和运行状态往往直接影响......
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研制可用于膜厚检测的系统,获取薄膜反射光谱,基于多层膜反射率模型和非线性回归算法得到厚度分布图。对SOI材料的反射光谱进行测......
