自动焦点跟踪相关硕士博士期刊学术论文

介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自动点跟踪传感器，该传感器可实现表面形貌的快速，非接触测量，其测量范围为５００μｍ，分辨率可达３ｎｍ；详细地描述......